一體式方形鋁制擋板閥
卓越的導(dǎo)熱性使整個閥體溫度均勻，并顯著減少閥內(nèi)氣體的冷凝。
低釋氣性使得可以使用低功率泵，并且還能縮短排氣時間。
工作壓力：1x10-5Pa
使用壽命：大于35萬次
大通量、小體積、（閥體）優(yōu)異的抗氟腐蝕性能。
該閥門不含鎳（Ni）或鉻（Cr）等重金屬，而且其低濺射率也有助于將半導(dǎo)體晶圓的重金屬污染降至最低。
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