應用于半導體和其他加工領域等高真空或超高真空系統中,對真空泵和腔體之間的閉合。 多種法蘭接口連接方式CF、KF、ISO-K、ISO-F等
憑借堅固的設計和直接安裝選項,以及分體式結構帶來的簡化維護,輕松滿足所有標準要求
在驅動、法蘭連接或額外真空接口方面的多種設計選擇,使其易于集成到任何真空應用中
可集成客戶定制的法蘭以及特殊功能部件
壽命:10萬次開啟
標準閘板密封采用氟橡膠(FKM)制成的 O 形圈密封,如有要求也可提供其他密封材料
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