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真空放氣閥
CF側邊開孔法蘭真空放氣閥
用于將真空腔室氣體排放到大氣中,也可用作向真空腔體輸送腔體的入口。
多種氣管終端接口形式MVCR\FVCR\LOK\TUBE。
氣管長度可按照需求定制
CF 法蘭:-60°C 至 315°C
法蘭:SUS304
閥門:SUS316
真空度:
1.0 x 10
-9
Torr
可提供2D\3D模型,接受非標定制。如有需求可咨詢銷售工程師。
尺寸參數
產品特性
用于將真空腔室氣體排放到大氣中,也可用作向真空腔體輸送腔體的入口。
多種氣管終端接口形式MVCR\FVCR\LOK\TUBE。
氣管長度可按照需求定制
CF 法蘭:-60°C 至 315°C
法蘭:SUS304
閥門:SUS316
真空度:
1.0 x 10
-9
Torr
可提供2D\3D模型,接受非標定制。如有需求可咨詢銷售工程師。
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