2022-11-28 18:00:56 來源:邁格諾科官網 游覽:
除此之外,還有其他一些“額外分子”的來源需要考慮。包括:外部污染物,如指紋中所含的油脂成分;工藝反應后的產物;真空泵內油蒸汽的反向擴散;以及系統組件本身的飽和蒸汽壓,例如密封件等。這些單一或混合的“額外分子”來源,使真空泵無法在現實中輕松獲得并保持它們設計預期的抽空水平。
當然解決方案也有很多:另外,使用熱氮氣等高溫氣體吹掃真空腔室也可以有效地去除內壁表面污染物。例如將氮氣通過潔凈的氣體加熱器,然后緩慢通入腔室長達30分鐘,污染物將被氣流夾帶并通過排氣口排出。這需要針對不同的真空系統,設計對應的通入時間和溫度。雖然并不復雜,但這種氮氣吹掃方法也只能用于部分真空腔室的處理。